材料・加工技術
5章:最先端プロセス技術
5-11. 新材料・新構造の研究トレンド
材料・加工技術
5章:最先端プロセス技術
5-10. High-Power・高耐圧デバイス向けプロセス(SiC / GaN)
材料・加工技術
5章:最先端プロセス技術
5-9. 高度成膜技術(ALD / PEALD / CVDの精密化)
材料・加工技術
5章:最先端プロセス技術
5-8. 先端エッチング技術(高アスペクト比 / DLE / ALE)
