材料・加工技術
8. 産業別応用編 成長産業で熱問題はどう現れるか
8-3. EV・次世代電池の熱問題(前編) ― 電池は「冷やせばよい」のではない。温度をそろえ、安全に使い続けることが重要になる ―
EVや次世代電池では、熱管理が非常に重要になる。 しかし、AIサーバーのように、 「発熱部品...
材料・加工技術
8. 産業別応用編 成長産業で熱問題はどう現れるか
8-2. 半導体製造装置の熱問題(後編) ― 半導体製造では、「熱い」ことより「温度が動く」ことが精度を壊す ―
前編では温度がプロセス条件そのものであることを、中編では加熱と冷却、真空やクリーン環境といった条...
材料・加工技術
8. 産業別応用編 成長産業で熱問題はどう現れるか
8-2. 半導体製造装置の熱問題(中編) ― 半導体製造では、「熱い」ことより「温度が動く」ことが精度を壊す ―
前編では、半導体製造装置にとって温度がプロセス条件そのものであること、そして熱膨張や熱ドリフトが...
材料・加工技術
8. 産業別応用編 成長産業で熱問題はどう現れるか
8-2. 半導体製造装置の熱問題(前編) ― 半導体製造では、「熱い」ことより「温度が動く」ことが精度を壊す ―
半導体製造装置では、熱問題は非常に重要である。 しかし、AIサーバーの熱問題とは少し性格が違う...
