PFASはPer- and Polyfluoroalkyl Substancesの略。

数千種類以上の化学物質が含まれる。

特徴：

・炭素–フッ素結合

・極めて安定

・分解しにくい

そのため永遠の化学物質（Forever Chemicals）とも呼ばれる。

PFASは半導体製造で重要な材料。

主な用途：

・フォトレジスト材料

・エッチングプロセス

・撥水コーティング

・フッ素ポリマー部材

特に微細加工プロセスでは不可欠な場合も多い。

先端半導体ではフォトリソグラフィが重要工程。

この工程ではフッ素系材料が

・パターン形成
・表面制御に使われる。

そのためPFAS規制は半導体製造に直接影響する。

半導体装置にはフッ素ポリマー材料も多く使われる。

例：

・PTFE

・PFA

・FEP

用途：

・薬液配管

・装置部材

・シール材

理由：

・耐薬品性

・耐熱性　が非常に高いため。

PFAS規制は特に欧州（EU）で議論が進んでいる。

EUではPFASの広範囲規制が検討されている。

対象：

・製造

・使用

・販売

多くの産業が影響を受ける可能性がある。

半導体業界はPFAS全面規制に懸念を示している。

理由：

・代替材料が少ない

・先端技術に不可欠

・供給網に影響

特に

先端半導体製造ではPFASを完全に排除するのは難しい。

そのため現在PFAS代替材料の研究が進められている。

例：

・新フォトレジスト

・代替コーティング

・低PFAS材料

しかし技術的課題も多い。

PFASは自然界でほとんど分解されない。

問題：

・水汚染

・土壌汚染

・生体蓄積

これが規制議論の背景。

半導体企業はPFAS問題への対応を進めている。

例：

・排出削減

・回収技術

・使用量削減

環境対策が重要になっている。

PFAS規制は産業政策とも関係する。

理由：

半導体は国家安全保障技術。

そのため環境規制と産業競争力のバランスが議論されている。

PFAS問題は今後も半導体産業に影響を与える。

重要テーマ：

・環境保護

・技術維持

・代替材料開発

これらをどう両立するかが課題になる。

・PFASはフッ素系化学物質群

・半導体製造で広く使用

・分解されにくい性質が問題

・EUで規制議論が進行

・半導体産業は影響を懸念

・代替材料研究が進んでいる

１．PFASが「永遠の化学物質」と呼ばれる理由は何か？

２．PFASは半導体製造のどの工程で使われるか？

３．PFAS規制が半導体産業に影響する理由は何か？

 

 

 

 

コラム監修：角本 康司 (オーティス株式会社)
語学留学や商社での企画開発を経て2011年にオーティス株式会社入社。経営企画部を中心に製造・技術部門も兼任し、2018年より代表取締役として事業成長と組織強化に努めている。

 

※本記事は教育・啓発を目的とした一般的な技術解説であり、特定企業・製品・技術を示すものではありません。