半導体製造では多様な廃棄物が発生する。

主な種類：

・薬液廃液

・有機溶剤廃棄物

・金属含有排水

・使用済みレジスト

これらは有害性を持つ場合も多い。

半導体製造では酸やアルカリが多く使われる。

例：

・硫酸

・フッ酸

・過酸化水素

これらの廃液は中和処理などを行い安全に処理される。

フォトリソグラフィ工程ではフォトレジスト材料が使用される。

使用後のレジストは廃棄物として処理される。

これには有機溶剤が含まれるため適切な処理が必要。

半導体製造では金属材料も使用される。

例：

・銅

・アルミニウム

・タングステン

そのため排水には微量金属が含まれる場合がある。

これらは専用処理設備で除去される。

半導体工場では大規模な排水処理設備が設置されている。

主な処理：

・中和処理

・沈殿処理

・ろ過処理

これにより排水は環境基準を満たすように処理される。

半導体工場では廃棄物は厳密に分別される。

例：

・化学廃棄物

・金属廃棄物

・一般廃棄物

適切な分別が安全処理につながる。

廃棄物削減のためリサイクルも進んでいる。

例：

・溶剤回収

・金属回収

・材料再利用

これにより資源利用効率が向上する。

廃棄物処理は厳しい法規制の対象。

例：

・廃棄物処理法

・化学物質規制

・環境排出基準

企業はこれらの規制を遵守する必要がある。

半導体企業では環境監査も行われる。

内容：

・廃棄物管理

・排水管理

・排出量管理

これにより環境リスクを低減する。

近年は持続可能な製造が重要になっている。

例：

・廃棄物削減

・再利用促進

・環境負荷低減

これらは企業評価にも影響する。

今後の課題：

・廃棄物削減

・リサイクル拡大

・環境技術開発

半導体産業では環境と製造の両立が求められている。

・半導体製造では多くの廃棄物が発生

・薬液廃液やレジスト廃棄物が主な例

・排水処理設備で環境基準を満たす

・リサイクルや再利用が進んでいる

・法規制と環境監査が重要

１．半導体製造で発生する代表的な廃棄物は何か？

２．排水処理設備の主な役割は何か？

３．なぜ廃棄物管理が半導体産業で重要なのか？

 

 

 

 

コラム監修：角本 康司 (オーティス株式会社)
語学留学や商社での企画開発を経て2011年にオーティス株式会社入社。経営企画部を中心に製造・技術部門も兼任し、2018年より代表取締役として事業成長と組織強化に努めている。

 

※本記事は教育・啓発を目的とした一般的な技術解説であり、特定企業・製品・技術を示すものではありません。