半導体製造は極めて高精度な加工産業。

特徴：

・ナノメートル精度

・数百工程のプロセス

・クリーンルーム環境

この高精度を維持するため多くの資源が必要になる。

半導体工場は巨大な電力消費施設。

主な電力消費源：

・製造装置

・クリーンルーム空調

・排気処理設備

先端ファブでは数十万世帯分の電力を消費することもある。

半導体製造では超純水（UPW）が大量に使われる。

用途：

・ウェハ洗浄

・薬液洗浄

・装置洗浄

先端工場では1日数万トンの水を使用する場合もある。

半導体製造では多くの化学物質が使われる。

例：

・酸（硫酸、フッ酸など）

・有機溶剤

・フォトレジスト

・特殊ガス

これらは適切な管理が必要。

半導体製造では温室効果ガスも発生する。

例：

・PFCガス

・NF3

・SF6

これらはCO₂より温室効果が高いものもある。

各国で環境規制が強化されている。

主な規制対象：

・温室効果ガス

・化学物質

・廃棄物

半導体企業は環境管理の高度化を求められている。

半導体企業には技術開発だけでなく社会的責任も求められる。

例：

・環境保護

・安全管理

・地域社会への配慮

これらは企業評価にも影響する。

一方で半導体は環境問題の解決にも貢献している。

例：

・EV（電気自動車）

・再生可能エネルギー

・省エネデータセンター

半導体は環境問題の原因でもあり解決策でもある。

近年、グリーンファブという考え方が広がっている。

内容：

・再生可能エネルギー

・水リサイクル

・省エネ装置

環境負荷を最小化する工場設計。

多くの半導体企業が環境目標を掲げている。

例：

・カーボンニュートラル

・水使用量削減

・廃棄物削減

これらは企業戦略の一部になっている。

半導体産業では技術進化と環境保護を同時に進める必要がある。

つまり

・高性能半導体

・低環境負荷製造　を両立することが今後の重要課題。

・半導体製造は資源消費が大きい

・電力・水・化学物質を大量使用

・温室効果ガス排出も問題

・環境規制が強化されている

・半導体は環境問題の解決にも貢献

１．半導体工場が大量の電力を消費する理由は何か？

２．超純水はどの工程で使われるか？

３．半導体産業が環境問題と関係する理由は何か？

 

 

 

 

コラム監修：角本 康司 (オーティス株式会社)
語学留学や商社での企画開発を経て2011年にオーティス株式会社入社。経営企画部を中心に製造・技術部門も兼任し、2018年より代表取締役として事業成長と組織強化に努めている。

 

※本記事は教育・啓発を目的とした一般的な技術解説であり、特定企業・製品・技術を示すものではありません。